Análisis de integridad del desarrollo de un acelerómetro óptico de silicio con encapsulado cerámico

6CP23-8

Autores/as

Palabras clave:

MEMS, cerámica, sensores

Biografía del autor/a

Daniel Rivera Rojo, Universidad Autónoma de Ciudad Juárez

Maestría en Ingeniería Eléctrica, Departamento de Ingeniería Eléctrica y Computación, Instituto de Ingeniería y Tecnología, Universidad Autónoma de Ciudad Juárez

José Mireles García, Universidad Autónoma de Ciudad Juárez

Profesor-investigador, Maestría en Ingeniería Eléctrica, Departamento de Ingeniería Eléctrica y Computación, Instituto de Ingeniería y Tecnología, Universidad Autónoma de Ciudad Juárez

Abimael Jiménez Pérez, Universidad Autónoma de Ciudad Juárez

Profesor-investigador, Maestría en Ingeniería Eléctrica, Departamento de Ingeniería Eléctrica y Computación, Instituto de Ingeniería y Tecnología, Universidad Autónoma de Ciudad Juárez

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Publicado

2023-12-01

Cómo citar

[1]
D. Rivera Rojo, J. Mireles García, y A. Jiménez Pérez, «Análisis de integridad del desarrollo de un acelerómetro óptico de silicio con encapsulado cerámico: 6CP23-8», Mem. Científ. y Tecnol., vol. 2, n.º 3, p. 14, dic. 2023.

Número

Vol. 2 Núm. 3 (2023): Noviembre

Sección

6o Coloquio de Posgrados del IIT